Unity-SC beweist mit VCSEL-Großhersteller einzigartige Fähigkeit zur Erkennung nicht-streuender potenzieller Defekte auf GaAs Substraten
(ots) - Vertical-Cavity
Surface-Emitting Laser (VCSEL) erregten in den letzten zehn Jahren
ein zunehmendes Interesse in vielen Bereichen aufgrund ihrer
einzigartigen optischen und elektrischen Eigenschaften, verbunden mit
ihren hohen Vorteilen in Bezug auf Inline-Prüfung und
Herstellbarkeit. Sie basieren hauptsächlich auf GaAs-Wafern für Rot-
bis IR-Wellenlängen und werden häufig in Lidar- und
3D-Objekterkennung eingesetzt. Dank Anwendung in der
Automobilindustrie wächst der Lidar-Markt schnell, ebenso wie der
Bedarf an störungsfreien Geräten. Da Smartphone-Hersteller außerdem
solche Sensoren zur Gesichtserkennung einbetten, stellt die
3D-Sensorik einen sehr großen Markt dar. Daher wächst der Bedarf an
qualitativ hochwertigen und zuverlässigen GaAs-Prüfsystemen ständig.
Neben den gängigen Surface Scanning Inspection Systems (SSIS) und
Automatic Optical Inspection (AOI) Systemen zeigte UnitySC
(http://unity-sc.com/) seine einzigartige Fähigkeit, ansonsten
unsichtbare topografische Defekte zu erkennen. Diese Fehler sind bei
herkömmlichen optischen Inspektionssystemen nicht sichtbar, da sie
kein Licht streuen oder absorbieren und nur durch ihre Topographie
sichtbar sind. Sie haben zwar wenig Einfluss auf die strukturelle
Qualität des Substrats selbst, können aber später im Prozess zu einem
Geräteausfall führen. So können beispielsweise bei der Herstellung
der Bragg-Gitterreflektoren diese topografischen Defekte zu einer
falschen Bragg-Periode oder in Einzelfällen zu spannungsinduzierten
Rissen führen. Diese Ausfälle können während des Prozesses oder nach
der Lieferung des Systems unter Hitze- oder Spannungsbedingungen
auftreten, was zu einem Systemausfall führt.
Dank der in die LIGHTsEE(TM) Serie integrierten Phase Shift
Deflectometry Technology (PSD) können diese Defekte leicht erkannt
werden. Die PSD bietet eine vollständige, berührungslose
Hochdurchsatzlösung zur Messung der Waferdicke mit einer
Höhenempfindlichkeit von unter 5 nm. Da die Erfassung ohne Bewegung
des Substrats erfolgt, ist sie spannungsfrei und kompatibel mit jedem
empfindlichen Substrat.
Diese Technologie wurde mit einem großen VCSEL-Hersteller
demonstriert und zeigte eine Verbesserung der Renditen und eine
Verringerung der Geräteausfälle durch systematische Unterdrückung von
Matrizen, die von solchen Defekten betroffen sind. Durch den Einsatz
der PSD in der Eingangsqualitätskontrolle können VCSEL-Hersteller
daher ihre Rendite weiter steigern und ihre Lieferkette verbessern.
Informationen zu UnitySC
UnitySC mit Hauptsitz in Montbonnot, Frankreich, ist weltweit als
Schlüsselakteur in der Inspektion und Messtechnik anerkannt und
kombiniert fortschrittliche Technologien in der automatisierten
optischen Inspektion und 3D-Bildgebung mit hoher Tiefenschärfe,
Zeitmodus-Interferometrie, Spektrometrie und
Phasenverschiebungsanalyse. Dies ermöglicht es den Kunden, höhere
Renditen zu erzielen und eine schnellere Markteinführung zu
erreichen. Wir bieten Standard- und kundenspezifische Lösungen, die
an die spezifischen industriellen Anforderungen und Einschränkungen
angepasst sind und eine neue Ära in der Prozesssteuerung ermöglichen.
Weitere Informationen finden Sie unter unity-sc.com
(http://www.unity-sc.com/).
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Pressekontakt:
Unity Semiconductor SAS
611 rue Aristide Bergès, Z.A. de Pré Millet
38330 MONTBONNOT SAINT-MARTIN (Frankreich)
Tel. 33-(0)-4-56-52-68-00 - F. 33-(0)-4-56-52-68-01
E-mail : contact(at)unity-sc.com
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Datum: 18.07.2019 - 01:41 Uhr
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